隨著科學技術的進步，在60年代初發明了半導體探測器以后，對X-熒光進行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。

　　接下來讓我們一起來了解一下X熒光光譜儀的兩種分類介紹吧。

　　X熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線(即X-熒光)。能量色散(ED-XRF)和波長色散(WD-XRF)是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

　　1、能量色散熒光光譜儀

　　能量色散法是將X射線激發被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進入到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。

　　如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生測量誤差。能量色散型儀器最大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定(一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格)。

　　2、波長色散熒光光譜儀

　　波長法是因其激發出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素(“過濾”了不需測的元素)，不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本(非破壞)，會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。儀器操作也不需要專業人員。